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康奈爾大學(xué)新技術(shù)首窺芯片原子級(jí)“鼠咬”缺陷 助力半導(dǎo)體研發(fā)升級(jí)

   發(fā)布時(shí)間:2026-03-05 03:18 作者:顧雨柔

美國(guó)康奈爾大學(xué)的研究團(tuán)隊(duì)近日取得了一項(xiàng)突破性進(jìn)展,他們利用高分辨率三維成像技術(shù),首次在計(jì)算機(jī)芯片中發(fā)現(xiàn)了可能影響其性能的原子級(jí)缺陷,并將其命名為“mouse bite(鼠咬)”。這一發(fā)現(xiàn)可能對(duì)全球電子設(shè)備產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響,涉及從智能手機(jī)和汽車(chē)到人工智能數(shù)據(jù)中心和量子計(jì)算等多個(gè)領(lǐng)域。

這項(xiàng)研究是康奈爾大學(xué)與臺(tái)積電以及半導(dǎo)體材料公司ASM合作完成的,相關(guān)成果已于2月23日發(fā)表在《自然·通訊》期刊上。研究團(tuán)隊(duì)通過(guò)創(chuàng)新性的成像技術(shù),成功檢測(cè)到芯片制造過(guò)程中形成的微小界面粗糙度,這些缺陷在原子尺度上呈現(xiàn)出類似“鼠咬”的形態(tài),可能阻礙電流在晶體管中的流動(dòng),進(jìn)而影響芯片性能。

晶體管作為計(jì)算機(jī)芯片的核心組件,其功能類似于電子開(kāi)關(guān),通過(guò)電門(mén)控制電流的通斷。隨著芯片技術(shù)向更小尺寸發(fā)展,晶體管的尺寸已縮小至原子級(jí)別,這使得任何微小的結(jié)構(gòu)缺陷都可能對(duì)性能產(chǎn)生顯著影響。研究項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、康奈爾大學(xué)工程學(xué)教授David Muller比喻稱:“晶體管就像電子管道,如果管壁粗糙不平,就會(huì)減緩電子流動(dòng)速度。因此,精確測(cè)量管壁質(zhì)量變得至關(guān)重要。”

現(xiàn)代芯片制造涉及數(shù)百甚至上千道化學(xué)蝕刻、沉積和加熱工序,每一步都可能引入結(jié)構(gòu)變化。傳統(tǒng)方法依賴投影圖像推測(cè)實(shí)際情況,而新成像技術(shù)允許研究人員直接觀察每道工序后的芯片結(jié)構(gòu)。論文第一作者Shake Karapetyan表示:“現(xiàn)在我們可以真正看到,當(dāng)溫度調(diào)整到特定值時(shí),芯片結(jié)構(gòu)會(huì)發(fā)生怎樣的變化。這種可視化能力將極大提升制造過(guò)程的可控性?!?/p>

單個(gè)高性能芯片可能包含數(shù)十億個(gè)晶體管,隨著尺寸縮小,故障排查難度呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)。新發(fā)現(xiàn)的“鼠咬”缺陷源于優(yōu)化生長(zhǎng)過(guò)程中的結(jié)構(gòu)異常,這種原子級(jí)缺陷此前難以被檢測(cè)。Muller教授強(qiáng)調(diào),該技術(shù)將成為芯片開(kāi)發(fā)階段的重要調(diào)試工具,幫助工程師在早期發(fā)現(xiàn)并修正設(shè)計(jì)缺陷。

這項(xiàng)突破不僅適用于傳統(tǒng)電子設(shè)備,還可能推動(dòng)量子計(jì)算等前沿技術(shù)的發(fā)展。量子計(jì)算機(jī)對(duì)材料結(jié)構(gòu)控制要求極高,而當(dāng)前技術(shù)尚無(wú)法完全滿足這一需求。新成像技術(shù)提供的原子級(jí)精度觀察能力,有望為下一代計(jì)算技術(shù)奠定基礎(chǔ)。研究團(tuán)隊(duì)表示,未來(lái)將繼續(xù)探索該技術(shù)在其他半導(dǎo)體材料中的應(yīng)用潛力。

 
 
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